1 简介

XDE FA & Equipment 是公司自主研发的产品，秉承“Make Develop Easy”的理念，旨在为国内半导体设备供应商提供一套完整、简化的GEM/GEM 300使用标准模型，助力设备快速导入。该产品致力于解决目前国内半导体设备上位机应用层面过度依赖国外产品、国产化进程缓慢的问题。

通过提供统一的控制流与数据流，设备只需一次开发即可同时满足本地和远程生产需求，大幅减少了开发与测试的工作量。

此外，还提供了FA手册模板，用户只需将HSMS Config插件中导出的Variable、Alarm、Event表格复制到手册模板中，便可轻松完成FA手册的编制，原本复杂的工作现在仅需5分钟即可搞定！

同时，XDE FA & Equipment还包含丰富的半导体设备软件通用控件库，例如E30 Control State及E30 Communicate State Monitor插件、Variable查看（编辑）界面插件、信号塔与蜂鸣器插件、HSMS Config插件等，为设备开发提供了全方位的支持。

2  GEM/GEM300 支持

现已支持标准包括：

• E5 : SEMI EQUIPMENT COMMUNICATIONS STANDARD 2 MESSAGE CONTENT(SECS-II ) 
• E30 : GENERIC MODEL FOR COMMUNICATIONS AND CONTROL OF MANUFACTURING EQUIPMENT (GEM)
• E37 : HIGH-SPEED SECS MESSAGE SERVICES (HSMS) GENERIC SERVICES
• E40 : STANDARD FOR PROCESSING MANAGEMENT
• E41 : EXCEPTION MANAGEMENT (EM) STANDARD
• E87 : SPECIFICATION FOR CARRIER MANAGEMENT (CMS)
• E90 : SPECIFICATION FOR SUBSTRATE TRACKING
• E94 : SPECIFICATION FOR CONTROL JOB MANAGEMENT
• E116 : SPECIFICATION FOR EQUIPMENT PERFORMANCE TRACKING
• E157 : SPECIFICATION FOR MODULE PROCESS TRACKING

即将支持InterfaceA，包括以下协议：

• E120 : Common Equipment Model
• E125 : Equipment Self-Description
• E132 : Authentic and Authorization
• E134 : Data Collection Management
• E128 : XML Message Structure
• E138 : XML Common Components
• E148 : Time Synchronization
• E164 : EDA Common Metadata

3 统一的数据流和控制流

传统设备软件本地模式和远程模式都需要独立运行的，在已经实现本地模式的生产流程后，仍然需要基于远程模式实现一份单独的生产流程，会增大设备软件机台开发以及测试的工作量。

为了统一设备软件开发的流程，且能够简单高效的完成设备软件的开发，XDE FA & Equipment 在架构设计时已经考虑到了此问题，将本地模式和远程模式使用统一的控制流和数据流，使得设备软件开发不用再针对本地和远程分别进行开发，大幅减少了开发和测试的工作量。

4 符合 SEMI 标准的设备建模

XDE FA & Equipment 遵循 SEMI 标准的设备层次模型（Equipment、Module、SubSystem）进行建模，基于此模型提供了ModuleBase 基础的 Module 开发类，并基于 ModuleBase 的基础上再封装了 LoadportBase、AlignerBase、RobotBase、ProcessModuleBase 等基类，并实现了一套能满足半导体设备各种应用场景的设备状态机。

使用 XDE FA & Equipment 提供的标准模型进行开发，有以下优势：

• 采用标准模型，开发团队能快速就模块划分、模块职责等达成一致，减少沟通对齐成本；
• 通 用 逻 辑 已 在 Base 类 中 实 现，Equipment Software 开发只需继承这些 Base 类后实现生产调度逻辑、硬件控制等即可快速完成设备仿真 Demo 搭建和机台实模式集成。

5 其他

除了上述基本功能外，还提供了FA手册模板，用户只需将HSMS Config插件中导出的Variable、Alarm、Event表格复制到手册模板中，便可轻松完成FA手册的编制，原本复杂的工作现在仅需5分钟即可搞定！

同时，XDE FA & Equipment还包含丰富的半导体设备软件通用控件库，例如E30 Control State及E30 Communicate State Monitor插件、Variable查看（编辑）界面插件、信号塔与蜂鸣器插件、HSMS Config插件等，为设备开发提供了全方位的支持。