XDE Kernel 通过复杂的系统多层架构，实现了半导体设备软件底层"三大件"，包括 SOA Framework、Service Bus Framework 以及 Log & Exception

SOA
提供不同操作系统、不同开发语言、主从机进程间的远程方法调用
Service Bus
提供不同操作系统、不同开发语言、主从机之间消息订阅发布功能
Log & Exception
提供不同等级的日志及异常统一记录功能；提供异常错误链、错误堆栈等分析功能

XDE Gui 旨在为半导体设备开发提供一套更高效、更易用、更现代化的界面软件解决方案，它支持Windows/Linux运行、使用 MVVM 模式使得界面开发更简单、模块化（插件式）轻松部署、支持SEMI E95标准、支持多国语言切换、支持屏幕自适应和用户权限管理等。

XDE FA为公司自主研发，支持GEM/GEM300标准。它基于SECS-II协议，实现了E30、E37、E87、E90、E40、E94、E116、E158和E41等多项标准。在此基础上，提供了一套符合SEMI标准的设备模型，通过 XDE Equipment提供的标准模型，能够实现设备的快速开发与集成。这一解决方案显著提升了开发效率和系统兼容性。